此碑用酒泉青石雕成，高1.26米，寬0.77米，厚0.25米。碑正面陰刻漢文（楷體）24行，背面陰刻回鶻文26行，邊部雕刻忍冬卷草紋飾，其雕刻刀法遒勁，文字雋秀。碑正面漢文內容為喃達失太子發愿重修文殊寺記事碑，記述了元泰定帝也孫鐵木耳之子喃達失太子駐軍肅州文殊山時，焚香拜佛，當看到文殊殿宇年久失修頓發祥瑞善心，同眾兄弟、公主、王妃、隨行官員捐金助銀，并布施燈油田地于寺院，重修圣寺，彩繪圣容，愿保己長壽安康，保國邊防寧靜、五谷豐登、萬民安樂。背面回鶻文內容和漢文對照同義。

此碑經中央民族學院少數民族文字研究專家耿世民教授考釋，是極其難得的研究回鶻文字的實物資料。回鶻文是古回鶻人采用粟特文字母創制的文字。共約19至23個字母，有字頭、字中、字尾之分。元音5個、半元音2個。字母少，不能確切地標示古代維吾爾族的實際語音，一個字母有時表示2至3個或更多的語音。最初由右向左橫寫，后直寫右行。楷書用于經典，草書用于一般文書。自唐至明，主要流行于今吐魯番盆地和中亞楚河流域。文殊寺元太子碑刻回鶻文說明元代在肅州還有相當多的回鶻人，文殊山寺院中亦有回鶻僧人及回鶻文經卷。這是彌足珍貴的回鶻文實物資料，為研究裕固族的前身—甘州回鶻的變遷及歷史提供了珍貴的實物資料。